%0 Journal Article
%T A Novel Approach to Synthesizing Porous ZnO Films:Inorganic Chelating Sol-Gel Method<br>无机络合溶胶-凝胶法制备多孔ZnO薄膜(英文)
%A Yang Lirong
%A Jin Zhengguo
%A Bu Shaojing
%A Cheng Zhijie
%A <br>杨立荣
%A 靳正国
%A 步邵静
%A 程志捷
%J 半导体学报
%D 2004
%I 
%X 利用无机络合溶胶-凝胶法制备多孔Zn O薄膜,同时利用多种测试手段对薄膜的晶体结构、表面形貌、多孔和光学性能进行了研究.XRD和SEM的测试结果表明,Zn O薄膜的晶体结构为六方纤锌矿,薄膜表面呈多孔状.由孔径分布曲线得出薄膜的孔主要集中在介孔2 .0 2 nm和4 .97nm ;5 0 0℃煅烧得到的Zn O薄膜的比表面积是2 7.5 7m2 /g;在不同温度下煅烧的薄膜在可见光区域透射率均高于85 % ,光学带宽为3.2 5 e V.
%K porous ZnO film
%K inorganic chelating sol-gel method
%K pore size distribution
%K properties<br>多孔ZnO薄膜
%K 无机络合溶胶-凝胶法
%K 孔径分布
%K 性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=8A5F0E91C88DC1E5&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=C5154311167311FE&iid=38B194292C032A66&sid=6A73B36E85DB0CE9&eid=28F9D9CF04F424FF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=5&reference_num=19