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ISSN: 2333-9721
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用于1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的λ/4相移衍射光栅

Keywords: DFB激光器,InGaAsP／InP,衍射光栅

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Abstract:

采用全息二次曝光的方法,研制出用于 1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的,具有 λ/4相移的二级光栅,并通过扫描电镜(SEM)证明了相移的存在.本文分析了制备该种光栅的工艺原理,并提出了改善此种光栅质量的新方法.

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