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Keywords: Delay Line,Surface Acoustic Wave,GaAs延迟线,声表面波,砷化镓,声表面波器件
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报道了GaAs声表面波固定延迟线的设计方法和SAW器件金属剥离制造新工艺。研制出GaAsSAW延迟线,典型参数为:中心频率158MHz,插入损耗低于55dB,延迟时间1.5μs。
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