%0 Journal Article
%T 158MHz Surface Acoustic Wave Fixed- Delay Line on GaAs<br>158MHz GaAs声表面波固定延迟线的研制
%A LI Hong
%A |qin
%A XIA Guan
%A |qun
%A <br>李洪芹
%A 夏冠群
%J 半导体学报
%D 2000
%I 
%X 报道了ＧａＡｓ声表面波固定延迟线的设计方法和ＳＡＷ器件金属剥离制造新工艺。研制出ＧａＡｓＳＡＷ延迟线，典型参数为：中心频率１５８ＭＨｚ，插入损耗低于５５ｄＢ，延迟时间１．５μｓ。
%K Delay Line
%K Surface Acoustic Wave
%K GaAs<br>延迟线
%K 声表面波
%K 砷化镓
%K 声表面波器件
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=CB8A4D5F4149B6C6&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=659D3B06EBF534A7&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=39EEF47180459690&eid=6700D0D256586E73&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=8