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ISSN: 2333-9721
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半导体学报 1998

分子束外延系统中生长Si/SiO_2超晶格及其发光

林峰,盛篪,龚大卫,刘晓晗

Keywords: 分子束外延,硅,外延生长,二氧化硅,超晶格

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Abstract:

在硅分子束外延（ＭＢＥ）系统中，利用Ｓｉ和Ｏ２共淀积的方法生长出化学配比理想的ＳｉＯ２，在此基础上生长了Ｓｉ／ＳｉＯ２超晶格并观察到其光致发光（ＰＬ）谱

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