%0 Journal Article
%T 分子束外延系统中生长Si/SiO_2超晶格及其发光
%A 林峰
%A 盛篪
%A 龚大卫
%A 刘晓晗
%J 半导体学报
%D 1998
%I 
%X 在硅分子束外延（ＭＢＥ）系统中，利用Ｓｉ和Ｏ２共淀积的方法生长出化学配比理想的ＳｉＯ２，在此基础上生长了Ｓｉ／ＳｉＯ２超晶格并观察到其光致发光（ＰＬ）谱
%K 分子束外延
%K 硅
%K 外延生长
%K 二氧化硅
%K 超晶格
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=FBEE9AD3C1449C45A901B1F750D36A05&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=5D311CA918CA9A03&sid=B4F9D541F855CF96&eid=2497388423811B81&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=2