多元素测试仪测定二氯硅烷中的痕量磷

二氯硅烷的沸点只有8．3℃，常温下呈气体状态，用常规的方法取样和检测难度很大．我们用高温富氢还原的方法，使二氯硅烷中的磷还原为PH3，用气相色谱法测定．并在炉口设计了锥形惰性气氛保护炉口装置，有效的防止了氢爆．保证测试安全并能连续进样、操作简便、省时．同时利用NaOH富集，解决了主体干扰杂质的问题．方法灵敏、可靠、简便、灵敏度由0．1μg／1提高到0．0μg／1．