%0 Journal Article
%T 多元素测试仪测定二氯硅烷中的痕量磷
%A 闻瑞梅
%A 周淑君
%A 袁越
%A 赵振环
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 二氯硅烷的沸点只有8．3℃，常温下呈气体状态，用常规的方法取样和检测难度很大．我们用高温富氢还原的方法，使二氯硅烷中的磷还原为PH3，用气相色谱法测定．并在炉口设计了锥形惰性气氛保护炉口装置，有效的防止了氢爆．保证测试安全并能连续进样、操作简便、省时．同时利用NaOH富集，解决了主体干扰杂质的问题．方法灵敏、可靠、简便、灵敏度由0．1μg／1提高到0．0μg／1．
%K 二氯硅烷
%K 磷
%K 测定
%K 多元素测试仪
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3E63E9C414290619&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=0B39A22176CE99FB&sid=3F0AF5EDBC960DB0&eid=1B97AE5098AEB49C&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=7