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半导体学报 1999
质子辐照对GaAs/AlGaAs多量子阱材料光学性质的影响Keywords: 量子阱材料,光学性质,质子辐照,GaAs,AlGaAs Abstract: 用固定能量为20keV,剂量为1e11~1e13/cm2的质子和固定剂量为1e11/cm2,能量为30~100keV的质子,对GaAs/AlGaAs多量子阱材料进行辐照,得到了材料的光致发光特性随质子能量和剂量的变化关系,并进行了讨论.结果表明,质子辐照对材料的光学性质有破坏性的影响,这种影响是通过两种机制引起的.相同能量的质子辐照,随着辐照剂量的增大,对量子阱光致发光峰的破坏增大.相同剂量的质子辐照,当辐照质子的射程刚好覆盖整个量子阱结构区域时,对量子阱光致发光峰的破坏最严重,当辐照质子的射程超过量
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