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Keywords: 全扩散法,MOS控制,晶闸管,硅片,MCT
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使用普通P型硅片,用全扩散工艺制作MCT.除开通与关断MOS外,全部器件用常规晶闸管工艺制造.试制品主要电特性达到设计要求,说明了利用全扩散工艺制造MCT的可行性.文中讨论了适合于全扩散工艺的器件结构设计思路,报道了样品的测试结果,并对试制工作进行了简单分析.
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