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ISSN: 2333-9721
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Fabrication of Nanoelectronic Resonant Tunneling Diodes
纳电子器件谐振隧道二极管的研制

Keywords: nanoelectronic devices,RTD,GaAs
纳电子器件
,谐振隧道二极管,砷化镓

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Abstract:

采用分子束外延方法在砷化镓衬底上生长了双垒单阱结构 ,然后用常规半导体器件工艺制成了谐振隧穿二极管 (RTD) ,有相当好的 I- V特性 .对于 5μm× 5μm的 RTD器件 ,在室温条件下 ,测得其峰谷比最大可到 7.6∶ 1,最高振荡频率大于 2 6 GHz

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