集成电路功能成品率模拟与设计方法

本文基于在缺陷空间分布和粒径分布的模型，研究并讨论了计算集成电路（ＩＣ）功能成品率的理论和模拟ＩＣ功能成品率的方法．为了验证所研究方法和模型的正确性，对测试图样和实际ＩＣ的功能成品率进行模拟，并分析了影响功能成品率的几个因素，得到了有益的结果．