%0 Journal Article
%T 集成电路功能成品率模拟与设计方法
%A 郝跃
%A 朱春翔
%A 张卫东
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 本文基于在缺陷空间分布和粒径分布的模型，研究并讨论了计算集成电路（ＩＣ）功能成品率的理论和模拟ＩＣ功能成品率的方法．为了验证所研究方法和模型的正确性，对测试图样和实际ＩＣ的功能成品率进行模拟，并分析了影响功能成品率的几个因素，得到了有益的结果．
%K 集成电路
%K 成品率
%K 模拟
%K 设计
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9C4F050EE27F785C&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=2E4E3741E8FB64E9&eid=6D25DD85174CF6DB&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=1