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ISSN: 2333-9721
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Fe_2O_3-SnO_2双层薄膜对氨气敏感特性及其机理研究

Keywords: 半导体,敏感器件,传感器,氨气,敏感薄膜

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Abstract:

本文报道了以Ｆｅ（ＣＯ）５和ＳｎＣｌ４为源，采用ＰＥＣＶＤ技术淀积Ｆｅ２Ｏ３－ＳｎＯ２双层薄膜，将该薄膜淀积在陶瓷管上，对氨气的敏感特性进行了测量，并讨论了敏感机理．

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