%0 Journal Article
%T Fe_2O_3-SnO_2双层薄膜对氨气敏感特性及其机理研究
%A 戴国瑞
%A 何秀丽
%A 王宗昌
%A 南金
%J 半导体学报
%D 1998
%I 
%X 本文报道了以Ｆｅ（ＣＯ）５和ＳｎＣｌ４为源，采用ＰＥＣＶＤ技术淀积Ｆｅ２Ｏ３－ＳｎＯ２双层薄膜，将该薄膜淀积在陶瓷管上，对氨气的敏感特性进行了测量，并讨论了敏感机理．
%K 半导体
%K 敏感器件
%K 传感器
%K 氨气
%K 敏感薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=FBEE9AD3C1449C4574143F2777F6885F&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=04EA291949415E08&eid=8A6D8366EA57F0FF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=3