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ISSN: 2333-9721
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极低暗电流InGaAs MSM-PD的光电特性研究

Keywords: 光电探测器,双重势垒增强层,设计

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本文首次采用双重肖特基势垒增强层技术，制作了InGaAsMSMS－PD光电探测器．实际结构表明：具有15nm的P－InP和100nmInP双重势垒增强层的器件极大地减小了暗电流，器件的暗电流均小于10nA，响应度为0．83A／W，FWHM为70ps，证明这是一种减小MSM－PD暗电流的有效设计方法．

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