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ISSN: 2333-9721
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Measurement of Refractive Indices of (AlxGa1-x)0.51In0.49P Grown by Low Pressure Organometallic Vapor Phase Epitaxy
低压金属有机化合物气相外延生长的 (Al_x Ga_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P折射率测量(英文)

Keywords: 金属有机化合物气相外延,折射率,测量,AlGaInP

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Abstract:

采用测量反射谱方法确定了低压金属有机化合物气相外延生长的与 Ga As衬底匹配 (Alx Ga1 - x) 0 .5 1 In0 .49P外延材料的折射率 .实验中测量的反射谱波长范围为 0 .5— 2 .5 μm.在拟合实验数据过程中采用了单振子模型 .折射率数据用于分析应变量子阱 Ga In P/ Al Ga In P可见光激光二极管波导 ,计算出的器件远场图与实验数据吻合很好 .

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