Normal-Incident Si0.7Ge0.3/Si Multiple Quantum Wells Photodetectors
垂直入射Si_(0.7)Ge_(0.3)/Si多量子阱光电探测器

Keywords: photodetectors,MQW,SiGe/Si
光电探测器,多量子阱,SiGe/Si

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Abstract:

报道了正入射Si0.7Ge0.3/Si多量子阱结构光电探测器的制作和实验结果.测试了它的光电流谱和量子效率.探测器的响应波长扩展到了1.3μm以上波段.在1.3μm处量子效率为0.1%.量子效率峰值在0.95μm处达到20%.

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