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Keywords: 砷化镓:硅,单晶生长,结构缺陷,X射线,微重力,半导体材料
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本文对空间生长GaAS:Si单晶,沿着生长方向用X射线形貌和双晶衍射方法进行了研究,X射线形貌观测到了在空间生长区域有一个扇形高完整区.双晶衍射表明,在这个扇形区回摆曲线最窄、强度较高.
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