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ISSN: 2333-9721
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在微重力下生长的GaAs:Si单晶结构缺陷的X射线研究

Keywords: 砷化镓:硅,单晶生长,结构缺陷,X射线,微重力,半导体材料

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Abstract:

本文对空间生长GaAS:Si单晶,沿着生长方向用X射线形貌和双晶衍射方法进行了研究,X射线形貌观测到了在空间生长区域有一个扇形高完整区.双晶衍射表明,在这个扇形区回摆曲线最窄、强度较高.

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