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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors
基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器
Huang Hui, Wang Xingyan, Wang Qi, Huang Yongqing, Ren Xiaomin, Gao Junhua, Zhang Shengli, Liu Yu, Zhu Ninghua, Ma Xiaoyu, Yang Xiaohong, Wu Ronghan,
黄辉, 王兴妍, 王琦, 黄永清, 任晓敏, 高俊华, 张胜利, 刘宇, 祝宁华, 马骁宇, 杨晓红, 吴荣汉
Keywords: resonant cavity enhanced (RCE) photodetector,long wavelength,air gap,selective wet etching
谐振腔增强型光电探测器,长波长,空气隙,选择性湿法刻蚀
Abstract:
报道了一种长波长的In P基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于In P/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器.制备的器件在波长1.5 10 μm处获得了约5 9%的峰值量子效率,以及8GHz的3d B响应带宽,其中器件的台面面积为5 0 μm×5 0 μm. Full-Text
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