%0 Journal Article %T Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors
基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器 %A Huang Hui %A Wang Xingyan %A Wang Qi %A Huang Yongqing %A Ren Xiaomin %A Gao Junhua %A Zhang Shengli %A Liu Yu %A Zhu Ninghua %A Ma Xiaoyu %A Yang Xiaohong %A Wu Ronghan %A
黄辉 %A 王兴妍 %A 王琦 %A 黄永清 %A 任晓敏 %A 高俊华 %A 张胜利 %A 刘宇 %A 祝宁华 %A 马骁宇 %A 杨晓红 %A 吴荣汉 %J 半导体学报 %D 2004 %I %X 报道了一种长波长的In P基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于In P/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器.制备的器件在波长1.5 10 μm处获得了约5 9%的峰值量子效率,以及8GHz的3d B响应带宽,其中器件的台面面积为5 0 μm×5 0 μm. %K resonant cavity enhanced (RCE) photodetector %K long wavelength %K air gap %K selective wet etching
谐振腔增强型光电探测器 %K 长波长 %K 空气隙 %K 选择性湿法刻蚀 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=8584DB8181D228F8&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=C5154311167311FE&iid=0B39A22176CE99FB&sid=C5F8B8CB20F1B3D8&eid=DABEF202280E7EF1&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=6&reference_num=2