%0 Journal Article
%T Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors
基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器
%A Huang Hui
%A Wang Xingyan
%A Wang Qi
%A Huang Yongqing
%A Ren Xiaomin
%A Gao Junhua
%A Zhang Shengli
%A Liu Yu
%A Zhu Ninghua
%A Ma Xiaoyu
%A Yang Xiaohong
%A Wu Ronghan
%A
黄辉
%A 王兴妍
%A 王琦
%A 黄永清
%A 任晓敏
%A 高俊华
%A 张胜利
%A 刘宇
%A 祝宁华
%A 马骁宇
%A 杨晓红
%A 吴荣汉
%J 半导体学报
%D 2004
%I
%X 报道了一种长波长的In P基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于In P/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器.制备的器件在波长1.5 10 μm处获得了约5 9%的峰值量子效率,以及8GHz的3d B响应带宽,其中器件的台面面积为5 0 μm×5 0 μm.
%K resonant cavity enhanced (RCE) photodetector
%K long wavelength
%K air gap
%K selective wet etching
谐振腔增强型光电探测器
%K 长波长
%K 空气隙
%K 选择性湿法刻蚀
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=8584DB8181D228F8&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=C5154311167311FE&iid=0B39A22176CE99FB&sid=C5F8B8CB20F1B3D8&eid=DABEF202280E7EF1&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=6&reference_num=2