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ISSN: 2333-9721
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半导体学报 1998

提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法

张友渝,江泽流,宗婉华,王文喜,张大立,王民娟

Keywords: FEA,冷阴极,Spindt型,发射均匀性

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Abstract:

本文提出采用栅孔直径整匀法以及改进的纵向高阻Ｓｉ镇流电阻法，提高了Ｓｐｉｎｄｔ型场发射冷阴极阵列的发射均匀性

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