%0 Journal Article %T 提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法 %A 张友渝 %A 江泽流 %A 宗婉华 %A 王文喜 %A 张大立 %A 王民娟 %J 半导体学报 %D 1998 %I %X 本文提出采用栅孔直径整匀法以及改进的纵向高阻Si镇流电阻法,提高了Spindt型场发射冷阴极阵列的发射均匀性 %K FEA %K 冷阴极 %K Spindt型 %K 发射均匀性 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=AB3863CB0B6A259B&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=B31275AF3241DB2D&sid=6D6BFCF0101BC091&eid=08076B8B3CC96095&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0