用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化

硫钝化是一种比较有效的钝化ＧａＡｓ表面的方法．本文使用Ｎａ２Ｓ、Ｓ２Ｃｌ２和ＣＨ３ＣＳＮＨ２三种化学试剂对表面本征层重掺杂层（ｓｉｎ＋）结构的ＧａＡｓ样品进行了钝化，利用光调制反射谱观察到许多个ＦｒａｎｚＫｅｌｄｙｓｈ振荡，测量出本征层的电场强度，研究了ＧａＡｓ表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果．