%0 Journal Article
%T 用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化
%A 廖友贵
%A 金鹏
%A 李乙钢
%A 张存洲
%A 潘士宏
%A 梁基本
%J 半导体学报
%D 1999
%I 
%X 硫钝化是一种比较有效的钝化ＧａＡｓ表面的方法．本文使用Ｎａ２Ｓ、Ｓ２Ｃｌ２和ＣＨ３ＣＳＮＨ２三种化学试剂对表面本征层重掺杂层（ｓｉｎ＋）结构的ＧａＡｓ样品进行了钝化，利用光调制反射谱观察到许多个ＦｒａｎｚＫｅｌｄｙｓｈ振荡，测量出本征层的电场强度，研究了ＧａＡｓ表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果．
%K 砷化镓
%K 硫钝化
%K F－K效应
%K 半导体表面
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=CFD73B97AF50F0ACB0FD01A936C794C9&yid=B914830F5B1D1078&vid=A04140E723CB732E&iid=708DD6B15D2464E8&sid=F0CB1CC137DFCF2D&eid=9F481C73BF82C48F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=8