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半导体学报 1996
不同CO吸附类型对超细SnO_2气敏元件的作用Keywords: 一氧化碳,吸附,二氧化锡,气敏元件,半导体材料 Abstract: 本工作采用超细SnO2为基体,CO为检测气体,检测了烧结型SnO2元件在不同温度下的气敏效应.同时利用流动饱和法测试了粉体不同温度下对CO的可逆及不可逆吸附量.一方面通过新材料的使用,降低了元件的工作温度;另一方面,通过吸附测试与气敏效应的关联,认为:超细粉体低温时表面可逆CO量的存在,是其能够降低工作温度的主要原因.粉体表面的不可逆CO量直接影响着元件的响应输出(灵敏度).材料本身的吸附总量和气敏特性有着良好的对应关系.SnO2元件气敏效应的发挥是粉体表面可逆与不可逆吸附共同作用的结果.
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