%0 Journal Article %T 不同CO吸附类型对超细SnO_2气敏元件的作用 %A 陆凡 %A 陈涌英 %A 彭少逸 %J 半导体学报 %D 1996 %I %X 本工作采用超细SnO2为基体,CO为检测气体,检测了烧结型SnO2元件在不同温度下的气敏效应.同时利用流动饱和法测试了粉体不同温度下对CO的可逆及不可逆吸附量.一方面通过新材料的使用,降低了元件的工作温度;另一方面,通过吸附测试与气敏效应的关联,认为:超细粉体低温时表面可逆CO量的存在,是其能够降低工作温度的主要原因.粉体表面的不可逆CO量直接影响着元件的响应输出(灵敏度).材料本身的吸附总量和气敏特性有着良好的对应关系.SnO2元件气敏效应的发挥是粉体表面可逆与不可逆吸附共同作用的结果. %K 一氧化碳 %K 吸附 %K 二氧化锡 %K 气敏元件 %K 半导体材料 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9F0DF084E1229073C59E722A2CA09A46&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=38B194292C032A66&sid=D2742EEE6F4DF8FE&eid=CEC789B3C68C3BB3&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=5