Study of Microcrystalline Silicon Solar Cells
微晶硅太阳电池

采用VHF-PECVD技术制备了系列微晶硅太阳电池．综合测试结果表明：硅烷浓度、热阱温度和前电极都对微晶硅太阳电池的性能有影响．在湿法腐蚀的ZnO衬底上制备的电池的效率比在ZnO/SnO2复合膜上制备的电池的效率高1.5%．在优化了沉积条件后，制备出效率达6.7%的微晶硅太阳电池（Jsc=18.8mA/cm2，Voc=0.526V，FF=0.68），电池的结构是glass/ZnO/p(μc-Si∶H)/i(μc-Si∶H)/(a-Si∶H)/Al，没有ZnO背反射电极．