%0 Journal Article
%T Study of Microcrystalline Silicon Solar Cells<br>微晶硅太阳电池
%A Zhang Xiaodan
%A Gao Yantao
%A Zhao Ying
%A Zhu Feng
%A Wei Changchun
%A Sun Jian
%A Geng Xinhua
%A Xiong Shaozhen
%A <br>张晓丹
%A 高艳涛
%A 赵颖
%A 朱锋
%A 魏长春
%A 孙建
%A 耿新华
%A 熊绍珍
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 采用VHF-PECVD技术制备了系列微晶硅太阳电池．综合测试结果表明：硅烷浓度、热阱温度和前电极都对微晶硅太阳电池的性能有影响．在湿法腐蚀的ZnO衬底上制备的电池的效率比在ZnO/SnO2复合膜上制备的电池的效率高1.5%．在优化了沉积条件后，制备出效率达6.7%的微晶硅太阳电池（Jsc=18.8mA/cm2，Voc=0.526V，FF=0.68），电池的结构是glass/ZnO/p(μc-Si∶H)/i(μc-Si∶H)/(a-Si∶H)/Al，没有ZnO背反射电极．
%K 甚高频等离子体增强化学气相沉积
%K 微晶硅太阳电池
%K X射线衍射
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=D26E71DE81ACA5A5&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=5D311CA918CA9A03&sid=145178081E5EA3CE&eid=A7E1C896834B988A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=9