Influence of Edge Damping on Quality Factor of Laterally-Driven Microstructures
边缘阻尼对横向振动微谐振器品质因子的影响

对微结构而言 ,空气表面层阻尼计算模型一般用库特模式 (Couette- type)和斯托克斯模式 (Stocks- type) ,但是已报道的模型计算所得到 Q值最小误差范围只能达到 10 %— 2 0 % .论文考虑了边缘效应的影响 ,建立了一个分析模型 ,对已知的几种横向振动谐振器的 Q值进行了计算 ,并将其与实测值比较 .结果表明此模型所得 Q值的平均误差小于 10 % .