%0 Journal Article
%T Influence of Edge Damping on Quality Factor of Laterally-Driven Microstructures<br>边缘阻尼对横向振动微谐振器品质因子的影响
%A 章彬
%A 黄庆安
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 对微结构而言 ,空气表面层阻尼计算模型一般用库特模式 (Couette- type)和斯托克斯模式 (Stocks- type) ,但是已报道的模型计算所得到 Q值最小误差范围只能达到 10 %— 2 0 % .论文考虑了边缘效应的影响 ,建立了一个分析模型 ,对已知的几种横向振动谐振器的 Q值进行了计算 ,并将其与实测值比较 .结果表明此模型所得 Q值的平均误差小于 10 % .
%K resonators
%K Q value
%K vibrating
%K air viscous-damping
%K dissipation<br>谐振器
%K Q值
%K 振动
%K 空气阻尼
%K 功耗
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=01CC18D864B3936B&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=B31275AF3241DB2D&sid=6D237E9625601349&eid=04EA291949415E08&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=7