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ISSN: 2333-9721
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(100)Si在KOH中各向异性腐蚀的凸角补偿新方法

Keywords: ,氢化钾溶液,腐蚀,凸角补偿

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Abstract:

本文对G.K.Mayer等人提出的,用(100)条对(100)Si凸角补偿的方法进行了深入研究,指出了该方法在腐蚀槽较窄时的局限性,在此基础上提出了一种改进的新方法,并给出了理论分析及实验结果.

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