%0 Journal Article
%T （100）Si在KOH中各向异性腐蚀的凸角补偿新方法
%A 张庆鑫
%A 刘理天
%A 李志坚
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 本文对Ｇ．Ｋ．Ｍａｙｅｒ等人提出的，用（１００）条对（１００）Ｓｉ凸角补偿的方法进行了深入研究，指出了该方法在腐蚀槽较窄时的局限性，在此基础上提出了一种改进的新方法，并给出了理论分析及实验结果．
%K 硅
%K 氢化钾溶液
%K 腐蚀
%K 凸角补偿
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=25E0FF173B443146&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=59906B3B2830C2C5&sid=3019419AF3C0F2FB&eid=8B6586F75D2B256A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=1