低压化学蒸汽淀积的三维计算机模拟

本文在一维LPCVD计算机模拟算式的基础上,考虑到反应管中,径向浓度不均匀的影响,进一步提出三维LPCVD计算机模拟算式,以便同时解决片内和片间均匀性问题.在形式上,整个三维模拟算式可以分解为片内和片间两个独立的部分,但二者是相互影响的.计算结果同一些实验结果具有相同的结论.在三维LPCVD计算机模拟的指导下,我们在研制LPCVD工艺和设备中取得了片内、片间均匀性和批间重复性都极为良好的结果.