光电压光谱法测定磷砷化镓外延层的组成(二)

<正> 1975年,我们建立了光电压光谱测定磷砷化镓外延层组成的方法,报告了它的原理,实验装置及数据处理的方法.本文对实验条件作了标准化规定,改进了定标方法,从而消除了结果计算的校正值.方法的准确度和重现性可提高到△x=±0.005克分子分数.