%0 Journal Article
%T 光电压光谱法测定磷砷化镓外延层的组成(二)
%A 邱德仁
%A 汪乃兴
%J 半导体学报
%D 1980
%I 
%X <正> 1975年,我们建立了光电压光谱测定磷砷化镓外延层组成的方法,报告了它的原理,实验装置及数据处理的方法.本文对实验条件作了标准化规定,改进了定标方法,从而消除了结果计算的校正值.方法的准确度和重现性可提高到△x=±0.005克分子分数.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=B9814289B92DAE90D95F2758F722A3F8&yid=E56875464B1C0EC1&vid=CA4FD0336C81A37A&iid=38B194292C032A66&sid=01622E3E475F966C&eid=80BD0A2EF8664214&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0