0.275μm nMOST''s中陷阱辅助隧穿电流对漏端LDD区DCIV谱峰的影响(英文)
Keywords: direct-currentcurrentvoltage(DCIV),热电子,可能性,陷阱辅助隧穿电流,电荷泵(CP)
Abstract:
应用 direct- currentcurrent voltage(DCIV)和电荷泵 (change pum ping)技术研究了 L DD n MOST’s在热电子应力下产生的界面陷阱 .测试和分析的结果显示 ,一股额外的漏端电流影响了 DCIV谱峰中表征漏区的 D峰 .这股电流主要是陷阱辅助隧穿电流 .
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