用反射光谱鉴定蓝宝石(或尖晶石)衬底上外延硅膜

本文提出了一种鉴定蓝宝石(或尖晶石)衬底上外延硅膜质量的方法.用一个F因子表征硅膜特性.该因子以吸收系数为表式并从反射光谱算出.对实验结果进行了讨论.