%0 Journal Article
%T 用反射光谱鉴定蓝宝石(或尖晶石)衬底上外延硅膜
%A 半导体光学性质小组
%J 半导体学报
%D 1980
%I 
%X 本文提出了一种鉴定蓝宝石(或尖晶石)衬底上外延硅膜质量的方法.用一个F因子表征硅膜特性.该因子以吸收系数为表式并从反射光谱算出.对实验结果进行了讨论.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3B5CA27B76C291C850F6A06BA8F48EFC&yid=E56875464B1C0EC1&vid=CA4FD0336C81A37A&iid=E158A972A605785F&sid=11CEECA6DA9E4AC5&eid=6490F0E20C4B41AD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0