一神光掩模缺陷检查技术

这里介绍的光掩模缺陷检查技术(MDI)是应用了方向性空间滤波原理,其检查速度比常规显微镜的快2-3倍,可检测的最小缺陷约为3μm.这种检查技术操作简便,为实现光掩模缺陷的自动检测打下了基础.