9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线

本文用氦载气熔化-气相色谱建立了红外吸收法测定硅单晶中间隙氧的标定曲线.由于熔化法中实验条件的控制和试样准备的改进,降低了空白,提高了数据的重现性,做出较可靠的标定曲线(其换算常数为6.2ppmA/cm~(-1)).优于文献中其它的标定曲线.