%0 Journal Article
%T 9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线
%A 李月珍
%A 何焕南
%A 赵关弟
%A 严荣华
%A 吕庆仁
%A 祁明维
%A 章家鼎
%A 华芝芬
%J 半导体学报
%D 1983
%I 
%X 本文用氦载气熔化-气相色谱建立了红外吸收法测定硅单晶中间隙氧的标定曲线.由于熔化法中实验条件的控制和试样准备的改进,降低了空白,提高了数据的重现性,做出较可靠的标定曲线(其换算常数为6.2ppmA/cm~(-1)).优于文献中其它的标定曲线.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=40215263BC1FFFE385569E91C475C901&yid=A7F20A391020FDEE&vid=E158A972A605785F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=35FC3610259C2B32&eid=CD775AE9DDBD7B53&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0