一种获得P~+P结构的方法

<正> 众所周知,在热氧化时半导体中的杂质分布会有改变,受主杂质硼和镓也不例外.按照文献1] 给出的公式可以计算热氧化后硼和镓在硅中的浓度分布.所用公式是: