肖特基二极管导纳的研究及其在能级测量中的应用

本文对肖特基二极管导纳进行了理论分析,给出了肖特基二极管导纳的解析表达式.讨论了深、浅能级对肖特基二极管导纳的影响,并指出如何从肖特基二极管导纳的测量得到深、浅能级的有关参数.首次将导纳谱方法用于Si中浅杂质P、深杂质Pd和热施主的测量,得到了和其它文献一致的结果.