%0 Journal Article
%T 肖特基二极管导纳的研究及其在能级测量中的应用
%A 高小平
%A 周洁
%A 许振嘉
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 本文对肖特基二极管导纳进行了理论分析,给出了肖特基二极管导纳的解析表达式.讨论了深、浅能级对肖特基二极管导纳的影响,并指出如何从肖特基二极管导纳的测量得到深、浅能级的有关参数.首次将导纳谱方法用于Si中浅杂质P、深杂质Pd和热施主的测量,得到了和其它文献一致的结果.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=0113580D332DA134&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=E158A972A605785F&sid=C7DDDE86E6286CD9&eid=35E8A259891FB32F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0