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ISSN: 2333-9721
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薄膜型SnO_2气敏元件初探

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Abstract:

本文介绍用射频等离子体激活化学汽相淀积SnO_2薄膜的方法,研究了SnO_2薄膜气敏元件对液化石油气和氢气的气敏效应,并对元件的检测机理作了一些探讨.

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