%0 Journal Article
%T 薄膜型SnO_2气敏元件初探
%A 沈瑜生
%A 张云昌
%J 半导体学报
%D 1984
%I 
%X 本文介绍用射频等离子体激活化学汽相淀积SnO_2薄膜的方法,研究了SnO_2薄膜气敏元件对液化石油气和氢气的气敏效应,并对元件的检测机理作了一些探讨.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=EB53D9FAEBF62889&yid=36250D1D6BDC99BD&vid=94C357A881DFC066&iid=38B194292C032A66&sid=DFEE4E8C33C95CEF&eid=31BCE06A2FD82A16&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=5&reference_num=0