两微米外延N阱CMOS艺的研究

本文描述2μm外延N阱CMOS工艺的研究,在工艺模拟和实验的基础上制定了合理的、可行的工艺流程.在工艺中成功地应用了全离子注入和红外瞬态退火技术.实验结果表明,2μm CMOS 器件具有优良的特性,适合超大规模集成电路的要求.5伏工作电压,21级2μmCMOS反相器环振链的级延时是0.48ns,每级的延时功耗乘积是0.49pJ.P~-/P~+外延层结合N阱伪集电极保护环,可在CMOS电路中最易产生Latch-up的I/O电路部分保证不发生Latch-up.本工艺可以应用于超大规模集成电路的制作.