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ISSN: 2333-9721
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掺杂(硼和磷)a-Si_(1-x)C_x:H膜中氢含量的测量

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Abstract:

本工作用IR法研究了a·Si_(1-x)Cx:H(x～0.2)膜中掺杂(B和P)对H键合特性的影响,并对样品含H量作了定量分析.

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