高频C-V方法测量埋沟电荷耦合器件的沟道电势

本文提出通过栅控二极管在不同偏压下的高频C-V特性曲线,确定埋沟电荷耦合器件(BCCD)随栅压变化的沟道电势.对不同样品进行了高频C-V测量,并求出沟道电势与栅压的变化关系.同时,用直流I-V法进行了测量,结果与高频C-V方法所得到的结果非常接近.根据BCCD一维耗尽近似理论模型,进行了计算机模拟,结果表明,理论与实验结果符合得比较好.